安捷伦多技术方法结合表征剥离液有机组分
本应用简报介绍了使用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 等技术共同表征剥离液的方法。HPLC-UV 可用于初步表征样品中具有紫外吸收的化合物,并作为产品质量控制的常规手段;而 GC-MS 和 LC-MS 不仅仅可以检出不含紫外官能团的低浓度化合物,还能够对化合物进行定性和定量分析,适用于剥离液的含量测定、杂质研究和配方剖析。
光刻是一种在薄膜或基板(也称为“晶圆”)上对零件图形化的 精密加工工艺。光刻技术利用光将几何图形从光掩模(也被称为 “光罩”)转移到基板上的感光(即光敏)化学光刻胶上,通过一系列化学处理将曝光图形蚀刻到材料中;或者将新材料以所需图形沉积在光刻胶下方的材料上。光刻技术大范围的应用于芯片、平 板显示器和微机电系统等的制造。在整个光刻流程中,不仅用到光刻胶,还需要用显影液、蚀刻液和剥离液等化学品。剥离作为光刻流程的重要工序之一,目的是将光刻胶从基板上彻底清除,而不腐蚀基板本身。
光刻胶种类很多,大致分为正性和负性光刻胶两大类。不同的光刻制程所用的光刻胶材料也有区别。为了充分剥离附着在基板上的光刻胶,需要依据光刻胶的种类和结构特性,有明确的目的性的选择剥离液。剥离液的种类很丰富,最重要的包含正胶剥离液(水系或有机系)、剥离清洗液(铝制程)和剥离清洗液(铜制程)等。例如,针对主要成分为酚醛树脂和感光剂的 UV 光刻胶(曝光波长 465 nm/365 nm),剥离过程最重要的包含:醇胺类化合物攻击光刻胶,打断光刻胶分子链,生成分子量更小的光刻胶片段;有机溶剂渗透至光刻胶片段分子链内部,发生溶胀,然后醇醚类化合物进一步溶解溶胀后的光刻胶片段;最后,光刻胶片段分子链随喷 淋液流和清洗水流脱离基板表面[2]。
剥离液的主要成分包括醇、有机胺和醚类[1-4]。为保护基板不被腐蚀,可能会向剥离液中加入一些芳香族化合物、羟基化合物、苯并类化合物[5]、氨基酸、有机酸或酸酐[1]。有关剥离液的成分分析鲜有报道。本文采用 HPLC-UV、GC-MS 和 LC-MS 对剥离液进行了全面表征。其中,HPLC 作为常规检验测试手段,可用于剥离液的日常检测;而 GC-MS 和 LC-MS 由于具有高灵敏度,且能根据质谱信息鉴定化合物,因此是研究应用的首选工具。另外,本文中 GC-MS 和 LC-MS 对有机胺和醚类化合物的鉴别判定的结果可以相互印证。
根据 EPA 方法 1633 分析水样中的全氟和多氟烷基化合物 (PFAS)
流式细胞术是一种强大的技术,可以深入分析免疫细胞的不同亚群,以对免疫系统来进行全面评估。光谱流式因其支持更多的标记物、更大的灵活性和更好的分辨率,从而使我们的细胞分析能力更进一步。在本应用简报中,为 Agilent NovoCyte Opteon 光谱流式细胞仪设计了 45 色方案,用于分析外周血单个核细胞 (PBMC) 样品中免疫细胞的分布。
使用安捷伦Agilent 6475 三重四极杆液质 联用系统测定水中的环烷酸类化合物
本文采用 Agilent 1290 Infinity II 超高效液相色谱与 6475 三重四极杆质谱联用系统,建立了一种分析水中七种环烷酸类化合物的方法。方法学评估根据结果得出,该方法对自来水和地表水中的环烷酸类化合物拥有非常良好的灵敏度、线性范围、重复性和准确度,适用于自来水和地表水中环烷酸类化合物的常规分析。
电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 是一种通用的多元素分析技术,以其高灵敏度和选择性而大范围的应用于所有的领域。许多依赖高通量方法的环境、食品、制药和材料检验测试实验室都获益于安捷伦 ICP-MS 仪器的稳定性、可靠性和高性能。实验室寻求进一步提升工作流程的效率并降低对员工的要求,促使他们转向自动化完成手动任务以提升整体工作效率。
CRISPR/Cas9 基因编辑的方法之一是将 Cas9 与单向导 RNA (sgRNA) 在体外复合后进行递送。传统上,在与Cas9 复合之前,会通过琼脂糖凝胶电泳对 sgRNA 进行质量控制分析。Agilent 5200 片段分析仪系统可通过 Agilent HS RNA 试剂盒 (15 nt) 和安捷伦小 RNA 试剂盒对线性片段和二级结构片段实现出色分离,有助于轻松地对 sgRNA 完整性进行可视化质量评估。使用 Agilent 5200 片段分析仪系统来进行可靠的毛细管电泳分析,可为每个 sgRNA 样品提供较为可靠的定量和分子量测定。
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